专业过滤设施
半导体工业气氛过滤器

  半导体工业气氛过滤器
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路,粉尘直接影响产品的成品率。当今,半导体工业(芯片厂)对谁呢共产情况的气氛洁净程度最挑剔,对气氛过滤器的要求也最苛刻。
衡量芯片集成度的指标之一是“线宽”,即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代,人们制作情况对粉尘李静的限制是小于线宽的1/10,随着线宽不断变小,1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年,一般微机中P4处置器的线宽又缩小到了0.13μm,此时任何粉尘都可能损害电路,粒径和线宽的传统比较已通逾期了。
芯片厂传统的通风形式是“大循环”,车间的整个顶棚上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带车间的过滤装置,即FFU。大循环和FFU两种形式都能抵达足够的洁净度,只是在运行治理和能耗上有所差异。
不论是一般高效过滤器还是FFU,出厂前都要通过逐台扫描测验。国内当前没有扫描测验标准,能挤进芯片厂的过滤器厂家是按欧美标准对过滤器进行扫描测验的。芯片厂的人认为,过滤器传统检验方法用的实验粉尘本身就是污染源,所以芯片厂不买钠焰法和DOP法的帐。
气氛中的海盐粒子是一切电子工业的大敌,但气氛中海盐粉尘的颗粒比较大,一般过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海洋,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。
20世纪90年代初,国外曾对高效过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵,随后,过滤器微量挥发元素成了芯片厂关切的事情。近几年,国外出现了聚四氟乙烯纤维高效过滤原料,这种原料没有挥发物,但它是带静电的“驻极体”,少了个隐患,多了个麻烦,过滤后的气氛要进行电中和以消除气氛中的离子。当前这两种原料的价钱偏高,全局部过滤器仍是用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能微量挥发元素主要来源于粘接剂和清洗剂,为芯片厂供货的过滤器厂商要在这上面下些功夫。
当今的过滤技术能够将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多洁净都能抵达。当芯片上的线宽小到0.5μm时,人们发现气氛中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5μm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制作工艺并不纷乱,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制作厂和军工厂没有搭上这班车,芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制作厂家提供的。
化学污染物的来源可能是:室外气氛、工艺本身、人、装修原料。多数情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特性:广谱吸附性能、足够多的活性炭原料。所谓广谱吸附就是对什么都能几多吸附些,能有这种功能的原料就是最一般、最廉价的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就能够对活性炭原料进行有针对性的化学处置,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定化学过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞过化学过滤器的专家,并与名气大的化学实验室有紧密的联系。遗憾的是,国内过滤器厂商没有几家在那上面下功夫,所以国内芯片厂当前使用的化学过滤器多数是进口产品。
半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”,它也有情况问题。那里最新采纳最新的工艺和原料,有些化学物品在其安定性尚未得到评估前就已经大批使用了,稍不小心就会造成严峻的化学污染,既有地下污染,也有气氛污染,硅谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险,有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。
正处在新一轮芯片厂建设的狂热中,为此,今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器,如果国内过滤器商家像以往那样只热衷于抄袭、猜疑、各顾各地瞎忙活,不在技术上进取、不相互交流,芯片厂这个难得的市场将属于外来者。

资料来源:高效气氛过滤器价钱  www.flshc.com


 


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日期:2016-08-11 人气:
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